等離子清洗機射頻等離子體發(fā)生器的典型結構
文章導讀：射流等離子清洗機是一種較為常見的常壓大氣型等離子體清洗機，當其在進行材料表面處理的時候，被處理的材料通常位于發(fā)生器噴嘴出口的下端射流區(qū)。因為射流等離子體清洗機是處在大氣、流動環(huán)境下的，因此如接觸到被處理的材料時，就會形成沖擊射流。今天給大家介紹的內容是射流等離子清洗機射頻發(fā)生器的典型結構。
當射流等離子清洗機在進行材料表面處理的時候，被處理的材料通常位于發(fā)生器噴嘴出口的下端射流區(qū)。因為射流等離子體清洗機是處在大氣、流動環(huán)境下的，因此如接觸到被處理的材料時，就會形成沖擊射流。處理的模型如下圖所示。那么射流等離子清洗機射頻發(fā)生器的典型結構是什么樣的呢？
其實產生射頻等離子體的發(fā)生器主要有平板型和同軸型兩種典型的結構，下圖分別為平板型和同軸型兩種結構示意圖。該射頻等離子體發(fā)生器所采用的是裸露水冷金屬電極，如銅、鋁、不銹鋼電極，由射頻電源驅動，一般情況下表現(xiàn)出容性放電的特征。在大氣壓條件下，大部分氣體的臨界擊穿場強都非常高。
因此，一方面，在大氣壓條件下產生氣體擊穿需用相對較高的外加電壓；另一方面，即使在較高的外加電壓條件下產生了氣體的擊穿過程，在如此高的電場強度下劇烈的電子雪崩效應也會使放電很快進入絲狀放電或電弧放電模式，因而很難獲得溫度接近于室溫的均勻的輝光放電等離子體。
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