等離子清洗機(jī)射頻水平電極容性耦合放電形式是怎樣的
文章導(dǎo)讀：等離子清洗機(jī)根據(jù)電源選取的不同，通常主要有中頻和射頻之分，而射頻等離子清洗機(jī)因放電形式不同，也有射頻容性耦合和感性耦合放電之分，在接下來的內(nèi)容中，我們先來了解一下射頻，以及水平電極的容性耦合放電形式和基礎(chǔ)原理。
等離子清洗機(jī)根據(jù)電源選取的不同，通常主要有中頻和射頻之分，而射頻等離子清洗機(jī)因放電形式不同，也有射頻容性耦合和感性耦合放電之分，在接下來的內(nèi)容中，我們先來了解一下射頻，以及水平電極的容性耦合放電形式和基礎(chǔ)原理。
一、什么是射頻
等離子清洗機(jī)的射頻或者說RF，是指工作頻率在MHz量級(jí)，射頻等離子清洗機(jī)的典型波段值為13.56MHz。在材料表面的等離子清洗應(yīng)用中，電容耦合式的射頻等離子清洗機(jī)適用范圍較為廣泛。
二、基本原理
等離子清洗機(jī)中低溫等離子體的產(chǎn)生機(jī)制有多鐘，包括但不局限于直流輝光放電、射頻感應(yīng)放電、電容耦合射頻放電，其中，電容耦合水平電極板射頻放電又以處理面積大，在諸多研究和工業(yè)處理中應(yīng)用廣泛。下圖為水平電極容性耦合射頻等離子清洗機(jī)放電。
對(duì)于電容耦合高頻等離子體源而言，保持在平行平板電極間的等離子體主要是通過高頻電場(chǎng)加熱。大部分的電容性耦合射頻等離子體反應(yīng)器都是非磁化的，工作頻率在1~100MHz之間，要比電子響應(yīng)電磁場(chǎng)的電子等離子體頻率要低，即ω<ωpe。非磁化容性耦合射頻放電模型如下圖所示，由于使用的容性耦合射頻放電能夠產(chǎn)生較大面積的穩(wěn)定等離子體，因而正如上述所說，電容性放電已經(jīng)成為低氣壓放電材料處理中應(yīng)用zui廣泛的等離子體源。
普樂斯電子10年專注研制等離子清洗機(jī)，等離子體清洗機(jī)，等離子清洗設(shè)備，常壓大氣和低壓真空型低溫等離子表面處理機(jī)，已通過ISO9001質(zhì)量體系和歐盟CE認(rèn)證，為電子、半導(dǎo)體、汽車、yi療等領(lǐng)域的客戶提供清洗，活化，刻蝕，涂覆的等離子表面處理解決方案，是行業(yè)內(nèi)值得信賴的等離子清洗機(jī)廠家。如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問，歡迎點(diǎn)擊普樂斯的在線客服進(jìn)行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009，普樂斯恭候您的來電！
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