國產(chǎn)連續(xù)式等離子清洗機在半導體行業(yè)的用途?
文章導讀:半導體封裝行業(yè)的連續(xù)式等離子清洗機,國內(nèi)常見的是低壓真空等離子清洗機,常壓大氣等離子清洗機很少有。今天我們聊到的對象就是國產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機,看看在半導體行業(yè)有哪些用途。
你知道什么是連續(xù)式等離子清洗機嗎?剛開始聽到這個稱謂的時候,我們也有點懵,結(jié)果經(jīng)過確認,其實就是在線式等離子清洗機,意思是作為流水線的一部分可以連續(xù)做等離子清洗的設備。半導體封裝行業(yè)的連續(xù)式等離子清洗機,國內(nèi)常見的是低壓真空等離子清洗機,常壓大氣等離子清洗機很少有。今天我們聊到的對象就是國產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機,看看在半導體行業(yè)有哪些用途。
國產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機,主要是由上下料自動裝置、真空系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、氣路控制和真空等離子反應腔體組成。基本工作原理是,把要處理的產(chǎn)品通過上料裝置傳送到真空反應腔體里面,抽真空到一定數(shù)值放電,按預設時間做等離子表面處理,然后恢復壓力值到一個標準大氣壓,下料裝置把產(chǎn)品推送到制定的位置。整個流程大約10多秒到幾分鐘不等,不同工藝、不同廠家的效率會有所區(qū)別。
國產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機的類型有很多種,主要是從放電形式和上下料自動動作來分的。按照放電形式,可分為PE模式和RIE模式,這是與功率電極的連接、電極結(jié)構(gòu)和產(chǎn)品放置相關的;按照上下料的方式,有平臺交互式、抽屜式和一進一出式。
國產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機在半導體行業(yè)的用途,比較常見的有3個領域。
1 各種金屬材質(zhì)的引線框架的等離子清洗
需要做等離子清洗機的引線框架的金屬材質(zhì)包括銅支架、鐵-鎳合金等,焊盤鍍層一般是銀。去除有機物和微弱的氧化層,對焊線和封塑都會有幫助。
2 各種非金屬載板的等離子清洗
比較典型的是IC基板和陶瓷基板,甚至會有玻璃基板等,對于焊盤密集的鍍層面等離子清洗可以提高良率和散熱效果。
3 晶圓表面的等離子清洗
晶圓表面的等離子清洗,主要目的是去除光刻膠殘余物,對于國產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機設備的穩(wěn)定性、均勻性、一致性等無疑提出更高的要求。



1 各種金屬材質(zhì)的引線框架的等離子清洗
需要做等離子清洗機的引線框架的金屬材質(zhì)包括銅支架、鐵-鎳合金等,焊盤鍍層一般是銀。去除有機物和微弱的氧化層,對焊線和封塑都會有幫助。
2 各種非金屬載板的等離子清洗
比較典型的是IC基板和陶瓷基板,甚至會有玻璃基板等,對于焊盤密集的鍍層面等離子清洗可以提高良率和散熱效果。
3 晶圓表面的等離子清洗
晶圓表面的等離子清洗,主要目的是去除光刻膠殘余物,對于國產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機設備的穩(wěn)定性、均勻性、一致性等無疑提出更高的要求。

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