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想了解等離子清洗機工作原理的看過了!

返回列表 來源:普樂斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2022-07-01 14:06【
文章導讀:等離子清洗機是應用于當代半導體、薄膜/厚膜電路等行業(yè)在元件封裝前、芯片鍵合前的二次精密清洗設備,清洗效果影響最終產品的質量。行業(yè)應用非常廣泛,普樂斯小伙伴給大家介紹下等離子清洗機的基本原理。
等離子清洗機是應用于當代半導體、薄膜/厚膜電路等行業(yè)在元件封裝前、芯片鍵合前的二次精密清洗設備,清洗效果影響最終產品的質量。行業(yè)應用非常廣泛,普樂斯小伙伴給大家介紹下等離子清洗機的基本原理。
等離子清洗機所使用的工藝簡稱干法清洗,是設備利用射頻等離子源的激發(fā),使工藝氣體激發(fā)成為離子態(tài),與清洗材質表面的污染物發(fā)生物理和化學反應,通過真空泵將反應產生的污染物排走,達到清洗效果。等離子清洗機的效果會影響產品的成品率。等離子清洗機工藝可應用于半導體行業(yè)、薄膜電路、元器件封裝前、連接器粘接等行業(yè)的二次精密清洗。
等離子清洗機工藝可分為化學清洗、物理清洗及兩種混合清洗。針對不同行業(yè)的清洗產品可選擇相對應的工藝氣體進行等離子表面處理。
1、化學等離子清洗
清洗反應是以化學反應為主的等離子體清洗。
可用氧氣等離子體經過化學的反應可以使非揮發(fā)性的有機物生成易揮發(fā)的H2O和CO2,化學式為:
等離子清洗機
也可用氫氣等離子體可以通過化學的反應去除金屬表面的氧化層,清潔金屬的表面,化學式為:
等離子清洗機
2、物理等離子清洗
清洗反應是以物理反應為主的等離子體清洗。
等離子清洗機
氬氣離子在等離子產生的自偏壓環(huán)境下被加速從而帶有動能,然后離子轟擊清洗工件表面,用于去除氧化物和環(huán)氧樹脂的溢出物。
3、混合式等離子清洗
清洗反應中物理反應與化學反應均起關鍵作用。
等離子清洗機
以上就是等離子清洗機工藝的原理,大家了解了嗎?
等離子清洗機
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