想了解等離子清洗機工作原理的看過了!
文章導讀:等離子清洗機是應用于當代半導體、薄膜/厚膜電路等行業(yè)在元件封裝前、芯片鍵合前的二次精密清洗設備,清洗效果影響最終產品的質量。行業(yè)應用非常廣泛,普樂斯小伙伴給大家介紹下等離子清洗機的基本原理。
等離子清洗機是應用于當代半導體、薄膜/厚膜電路等行業(yè)在元件封裝前、芯片鍵合前的二次精密清洗設備,清洗效果影響最終產品的質量。行業(yè)應用非常廣泛,普樂斯小伙伴給大家介紹下等離子清洗機的基本原理。
等離子清洗機所使用的工藝簡稱干法清洗,是設備利用射頻等離子源的激發(fā),使工藝氣體激發(fā)成為離子態(tài),與清洗材質表面的污染物發(fā)生物理和化學反應,通過真空泵將反應產生的污染物排走,達到清洗效果。等離子清洗機的效果會影響產品的成品率。等離子清洗機工藝可應用于半導體行業(yè)、薄膜電路、元器件封裝前、連接器粘接等行業(yè)的二次精密清洗。
等離子清洗機工藝可分為化學清洗、物理清洗及兩種混合清洗。針對不同行業(yè)的清洗產品可選擇相對應的工藝氣體進行等離子表面處理。
1、化學等離子清洗
清洗反應是以化學反應為主的等離子體清洗。
可用氧氣等離子體經過化學的反應可以使非揮發(fā)性的有機物生成易揮發(fā)的H2O和CO2,化學式為:

也可用氫氣等離子體可以通過化學的反應去除金屬表面的氧化層,清潔金屬的表面,化學式為:

2、物理等離子清洗
清洗反應是以物理反應為主的等離子體清洗。

氬氣離子在等離子產生的自偏壓環(huán)境下被加速從而帶有動能,然后離子轟擊清洗工件表面,用于去除氧化物和環(huán)氧樹脂的溢出物。
3、混合式等離子清洗
清洗反應中物理反應與化學反應均起關鍵作用。
以上就是等離子清洗機工藝的原理,大家了解了嗎?
等離子清洗機所使用的工藝簡稱干法清洗,是設備利用射頻等離子源的激發(fā),使工藝氣體激發(fā)成為離子態(tài),與清洗材質表面的污染物發(fā)生物理和化學反應,通過真空泵將反應產生的污染物排走,達到清洗效果。等離子清洗機的效果會影響產品的成品率。等離子清洗機工藝可應用于半導體行業(yè)、薄膜電路、元器件封裝前、連接器粘接等行業(yè)的二次精密清洗。
等離子清洗機工藝可分為化學清洗、物理清洗及兩種混合清洗。針對不同行業(yè)的清洗產品可選擇相對應的工藝氣體進行等離子表面處理。
1、化學等離子清洗
清洗反應是以化學反應為主的等離子體清洗。
可用氧氣等離子體經過化學的反應可以使非揮發(fā)性的有機物生成易揮發(fā)的H2O和CO2,化學式為:

也可用氫氣等離子體可以通過化學的反應去除金屬表面的氧化層,清潔金屬的表面,化學式為:

2、物理等離子清洗
清洗反應是以物理反應為主的等離子體清洗。

氬氣離子在等離子產生的自偏壓環(huán)境下被加速從而帶有動能,然后離子轟擊清洗工件表面,用于去除氧化物和環(huán)氧樹脂的溢出物。
3、混合式等離子清洗
清洗反應中物理反應與化學反應均起關鍵作用。


昆山普樂斯電子13年專注研制等離子清洗機,等離子清洗機,等離子清洗設備,常壓大氣和低壓真空型低溫等離子表面處理設備,大氣低溫等離子表面處理系統,大氣常壓收放卷等離子表面 設備處理的國家高新技術企業(yè),普樂斯嚴格執(zhí)行ISO9001質量體系管理,生產的等離子清洗機通過歐盟CE認證,為電子、半導體封裝、汽車、yi療等領域的客戶提供清洗、活化、刻蝕、涂覆的等離子表面處理解決方案,是行業(yè)內值得信賴的等離子清洗機廠家。如果您想要了解關于產品的詳細內容或在設備使用中存在疑問,歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢,或者直接撥打全國統一 服務熱線400-816-9009,普樂斯隨時恭候您的來電!